【摘 要】
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氢化非晶碳(a-C:H)薄膜具有良好的力学、电学和光学性能,在保护涂层,生物医学和光学材料等领域有着广泛的应用。在激光惯性约束聚变(ICF)物理实验研究中,a-C:H薄膜通常作为烧蚀层材料。Fe掺杂可以减少a-C:H薄膜的残余应力和增强与衬底的结合力;在ICF研究中Fe既可以增强Au的M带电子的吸收,减少强激光产生的等离子体超热电子对聚变物质的预加热,同时也可以降低电子与物质相互作用产生的轫致辐射
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氢化非晶碳(a-C:H)薄膜具有良好的力学、电学和光学性能,在保护涂层,生物医学和光学材料等领域有着广泛的应用。在激光惯性约束聚变(ICF)物理实验研究中,a-C:H薄膜通常作为烧蚀层材料。Fe掺杂可以减少a-C:H薄膜的残余应力和增强与衬底的结合力;在ICF研究中Fe既可以增强Au的M带电子的吸收,减少强激光产生的等离子体超热电子对聚变物质的预加热,同时也可以降低电子与物质相互作用产生的轫致辐射。此外,Fe作为深能级掺杂元素,可以丰富和改善a-C:H薄膜的光电子特性。本文制备了Fe掺杂a-C:H(
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