超精密气体静压轴承自激振动形成机理研究

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气体润滑技术在超精密制造领域的应用所占比重逐渐增大,其各种节流形式的静压支承的承载力、刚度等静态特性研究也基本成熟。在保证其微纳米的精度等级并提升其静动态特性的研究过程中,静压支承无可避免地遇到了限制,这就是一定条件下产生的区别于以往微振动的自激振动,这种振动是一种非稳态的破坏性振动,其振动幅值较大甚至严重时会超过气膜本身的尺度导致抱轴和轴承损坏影响正常工作,并伴随持续的尖啸声,且不同结构、不同参数下的自激振动的幅值和频率都不固定。针对这一现象,国内外学者以产生和抑制为方向进行了相关研究,但至今都未
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