论文部分内容阅读
扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)自发明以来,在生物、化学、物理和材料等诸多领域都取得了广泛的应用。SPM家族中的原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)因其无损检测和高分辨率成像能力,在半导体行业的关键尺寸(Critical Dimension,CD)检测上表现出巨大潜力,但传统AFM成像速度慢限制了其工业应用。另一方面,随着集成电路的工艺节点越来越小,半导体结构的复杂化,对检测设备的三维成像能力提出了迫切的需求。本项目针对工