工业型SPM的电控系统设计

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【摘要】

：

扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope,SPM)自发明以来,在生物、化学、物理和材料等诸多领域都取得了广泛的应用。SPM家族中的原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)因其无损检测和高分辨率成像能力,在半导体行业的关键尺寸(Critical Dimension,CD)检测上表现出巨大潜力,但传统AFM成像速度慢限制了其工业应用。另一方面,随

【作者】

：

徐建国

【机构】

：

天津大学

【发表日期】

：

2015年05期

【关键词】

：

工业SPM FPGA 嵌入式以太网侧壁扫描

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