IC制造业的高速发展以及它在国家发展中的重要性要求我们努力发展大行程、高速度和高精度的定位技术。随着传统驱动方式再也无法满足我们的要求,宏微结合的概念也就应运而生,应用宏动驱动机构实现快速大行程的运动,运用微动驱动机构实现高精度的运动,很好的解决了运动速度与定位精度之间的矛盾。目前市场上的电机驱动器多是单轴驱动,并且其结构和固件程序都是不可知,不可变的,不利于宏微同步运动和驱动技术的进一步发展,也不适用于课题所依托的项目。因此本文研究了宏微两级运动模式,并分别为其设计了驱动器,在满足项目指标的前提下,增强了驱动器的可扩展性。宏动台采用SVPWM调制方式,提高了电源的利用率。本文在对直线电机建立了矢量控制模型后讨论了SVPWM的调制原理;分析了由此产生的死区效应及补偿方法;针对电流反馈量含有丰富的纹波干扰并且模拟滤波器无法实现锐截止这一情况引入了电流过采样技术,通过提高采样频率,将高频干扰信号转换成数字信号进行数字滤波的方法来提高反馈电流采集的精度。最后在此基础上进行了芯片选型,完成了宏动台的硬件电路设计以及电流环的软件编程。为了得到更高的响应速度和输入输出的线性度,微动台驱动器选择线性功率放大电路驱动。该部分的核心是如何进行功率放大,本文根据项目设计要求选择OPA548作为功率放大器件,设计了一种最大输出电流为8A并且输出范围可调;低压线性度好;具有保护功能的驱动电路。同时对其性能进行了仿真验证。在完成了硬件电路设计后,本文选择了两种满足项目要求的电机对驱动电路进行了性能测试,包括响应时间和开闭环伯德图测试等。同时,建立了宏动台驱动器的传递函数,应用Simulink软件对其性能进行了仿真验证。仿真显示,宏动台驱动器带宽为1KHz,实验显示,微动台驱动器带宽为3.2KHz,响应时间为250μs。