【摘 要】
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AlN作为第III族氮化物的重要成员,以其优异的综合性能而受到众多关注。比如,AlN陶瓷因其良好的机械强度和耐高温性能而可以作为重要的结构陶瓷材料;AlN陶瓷因其热导率高、介电系数小和与硅相匹配的低热膨胀系数而可以作为优异的电子材料;Al N陶瓷在第三族氮化物中具有最大带隙(6.2eV),因此其在深紫外(UV)光学器件和光致发光(PL)基质材料中具有广阔的应用前景。然而,高质量的AlN粉体是制备高
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AlN作为第III族氮化物的重要成员,以其优异的综合性能而受到众多关注。比如,AlN陶瓷因其良好的机械强度和耐高温性能而可以作为重要的结构陶瓷材料;AlN陶瓷因其热导率高、介电系数小和与硅相匹配的低热膨胀系数而可以作为优异的电子材料;Al N陶瓷在第三族氮化物中具有最大带隙(6.2eV),因此其在深紫外(UV)光学器件和光致发光(PL)基质材料中具有广阔的应用前景。然而,高质量的AlN粉体是制备高性能AlN陶瓷的前提,因此,对AlN合成方法的探索和形貌的控制具有重要的意义。除了传统的加工路线,近年来
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