MEMS(微机电系统)技术在引信领域的应用,改变了引信设计者的传统设计思想,加速了引信向微型化、智能化、集成化方向的发展。MEMS引信具有体积小、成本低、可靠性高等诸多优点,同时引信有更多的空间容纳多传感器探测电路和主装药,提高了弹药的精确度和杀伤力。本文提出了一种新型的引信用MEMS微执行器,重点对蛇形槽、微弹簧和错位闭锁机构进行了详细设计,其中错位闭锁机构不再依靠构件变形就能实现闭锁功能,提高了引信用MEMS微执行器的可靠性。本文首先介绍了MEMS技术及其在军事和引信领域的应用,介绍了几种典型引信用MEMS微执行器的基本构成和作用原理,并在此基础上提出了具有延时功能的引信用MEMS微执行器设计方案,其次对蛇形槽、微弹簧和错位闭锁机构进行了重点设计。传统MEMS闭锁机构通常依靠构件的变形完成其闭锁功能,而本文设计的错位闭锁机构仅是简单的错位移动不再需要构件的变形,从而避免了因构件变形不充分造成的闭锁不可靠问题。通过UV-LIGA工艺和微细电火花工艺的比较,选用UV-LIGA技术制备引信用MEMS微执行器主体结构,对精度要求不高的零件,选用微细电火花加工节约成本。最后通过微细电火花加工引信用MEMS微小器件的大量实验,总结出加工参数与加工质量之间的关系以及微细电极的制备方法。为以后MEMS微小器件的制作提供借鉴。