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该论文针对一种特定构型的PSS副的6-DOF Stewart型柔性铰并联微 系统在驱动器特性分析,系统标定和控制系统研究等方面进行了广泛而深入的研究.(1)针对压电陶瓷的工 作机理和迟滞特性进行了全面的分析和实验研究,建立了可以准确描述迟滞特性的Preisach模型.(2)研究了微动的标定问题.(3)提出了基于Preisach模型的前馈控制方法.(4)针对 提出的控制策略,研制了相应的控制系统.