有机硅生产废水COD浓度高、酸性强、盐度高、可生化性差,处理难度大的特点,本文通过实验室小试研究,旨在探索生化处理的可行性及经济高效的处理工艺,为有机硅生产废水的处理应用提供参考。实验结果表明:有机硅生产废水经中和混凝预处理后,进行生化处理是可行的,COD明显降低,但是出水COD仍然比较高。通过中和混凝预处理+UASB+SBR+Fenton氧化这一工艺组合可以有效处理该废水。预处理后,废水具备适宜生化处理的条件;UASB+SBR的生化组合工艺可以有效降解废水中有机物, COD可从3000 mg L^-1降至600mg L^-1左右;在好氧处理单元添加低浓度易降解基质,通过共代谢方式可以提高生化处理效果,满足排放要求。或直接将好氧出水通过Fenton试剂强氧化处理,使废水中残留的难生物降解的有机物进一步氧化,从而达到处理目标。得到的优化工艺参数为:UASB反应器水力停留时间为26.4h,容积负荷为2.6kgCOD m-3 L^-1,COD去除率可达到60%以上;SBR工艺在周期为16h,排水比为1/4时,COD去除率可达40%以上,SBR降解动力学常数为K1=0.105h^-1,S0=155mg L^-1,废水中不可生物降解COD达到596mg L^-1; Fenton试剂氧化处理的最佳工艺条件是:pH为3.5,n（H₂O₂）/n(Fe²⁺)为10:1,每200mL废水的H2O2投加量为20mL,反应时间30min,最优条件下COD的去除率达到45%左右,出水COD在500mg L^-1以下。系统总COD去除效率可达85%左右。