光学元件超光滑表面的获得主要有超精密磨削、单点金刚石车削和抛光等超精密加工方法,而抛光应用得最为广泛。气囊式抛光技术是一种新颖的先进抛光工艺方法,能实现光学表面的确定性加工。气囊式抛光的关键技术有:抛光机床技术、抛光工艺、抛光数字控制算法。其中,抛光机床是抛光的设备,是抛光技术研究的基础。抛光主轴是气囊式抛光机床的关键部件之一,它既是抛光工具,同时也是进动机构的一部分。电主轴是主轴与电机一体化的结构单元,将它作为抛光主轴,能很好的满足气囊式抛光独特的运动要求。本文就抛光电主轴的研制进行了以下工作:首先,阐述了气囊式抛光的基本原理和特点、抛光工艺流程、进动抛光运动。在此基础上,分析了抛光机床对加工表面质量的影响,得出抛光机床对主轴的要求。然后,根据气囊式抛光对电主轴的独特要求,设计并制造了电主轴系统。其中包括:电机的设计与选择;轴承选型与配置、轴承润滑设计、限位与预紧技术;冷却方案的确定等关键技术。最后,通过实验测试并分析了所研制电主轴的转速稳定性、旋转精度、静态刚度、温升等性能。实验结果表明电主轴性能指标达到了预期的要求与目标。