【摘 要】
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精密制造业的迅猛发展对制造装备提出了越来越高的要求。精密的制造装备对于工作环境的要求显得更为重要，精密主动隔振器能减小外界振动对于高精密装备的影响，有效的提高装备的工作环境。位置测量是主动隔振器的重要组成部分，是隔振器实现闭环主动控制的关键环节之一，在主动隔振控制系统中扮演着重要角色。本文从主动隔振器的控制要求以及工作原理方面分析了位置测量与控制系统的重要性，提出了位置测量与控制系统的设计方案，并
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精密制造业的迅猛发展对制造装备提出了越来越高的要求。精密的制造装备对于工作环境的要求显得更为重要，精密主动隔振器能减小外界振动对于高精密装备的影响，有效的提高装备的工作环境。位置测量是主动隔振器的重要组成部分，是隔振器实现闭环主动控制的关键环节之一，在主动隔振控制系统中扮演着重要角色。本文从主动隔振器的控制要求以及工作原理方面分析了位置测量与控制系统的重要性，提出了位置测量与控制系统的设计方案，并且根据主动隔振器位置测量的要求，对位移传感器进行了的选型，完成了位移传感器在主动隔振器上安装与调
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