LTCC叠层片式双工器的研究

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LTCC技术是近年发展起来的令人瞩目的整合组件技术,已经成为无源集成的主流趋势,能够满足电子系统小型化,低成本化发展的要求。本文对LTCC双工器设计和制作进行了基础研究,主要内容包括LTCC基本无源单元电容π型和T型等效电路模型的推导和验证,LTCC双工器的设计和制作。在参考文献查阅的基础上,本文重点推导了LTCC电容元件π型和T型高频等效电路模型的建立过程,采用Z矩阵、Y矩阵与物理模型相结合的方法推导出电容等效电路中元件的表达式,简化了推导过程,得到与文献一致的结论。用两层的MIM电容仿真实例对π型和T型等效电路模型进行验证,得出π型等效电路模型在电容的自谐振频率范围内与三维物理模型的仿真结果是吻合的,而T型等效电路模型的精确度则可以达到二阶谐振频率点。等效电路模型的生成,有利于无源集成设计中元件库的建立。双工器的基础研究包括了双工器的结构设计与工艺实现验证。为了实现复杂的双工器,本文首先对结构较为简单的滤波器进行了设计和制作,测试的滤波器样品频响特性能够满足设计的特性指标要求,说明了LTCC的软件设计与工艺条件对实物制作有实际指导意义。基于滤波器成功的设计案例和工艺经验的指导,设计了LTCC双工器,该双工器的低频通带从DC到200MHz,高频通带从1.5GHz到1.7GHz,高频通带和低频通带内插损均为1dB。经过样品的制作和分析,最后样品性能测试结果与仿真结果吻合得较好,但是带外的衰减抑制不太理想,对LTCC双工器进行SEM微观分析其原因,主要是由于LTCC工艺的不精准造成了测试和仿真之间的差异。
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