多通道滤光片制备中的光吸收器及Lift-Off光刻工艺研究

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在现代光学信息技术中,多通道滤光片在遥感探测、彩色显示、图像采集等方面有着广泛的应用。在这些应用中常常需要小型化、集成化的多通道滤光片,而基于金属掩膜法或拼接法的传统工艺难以制作这类滤光片。因此如何制作高精度的多通道滤光片成为一个亟待解决的问题。本文围绕着多通道滤光片中的关键技术展开,主要研究内容包括:金属-介质光吸收膜的设计与制备。光吸收镀膜在杂散光抑制、红外光热探测、太阳能光热转换等方向有着广泛的应用。本文基于金属-介质结构设计了可见光波段的光吸收膜,采用单纯形算法和模拟退火算法合成并优化膜系结
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