航空发动机长期工作在高温高压和剧烈振动的环境中,容易发生疲劳裂纹和严重磨损,因此对其叶尖间隙和振动幅度等参数的监测十分重要。涡流检测技术具有测量范围大、分辨率和灵敏度高、能在恶劣环境下长期工作的优点,在无损检测领域具有广阔的应用前景。但是,目前的电涡流传感器感应探头在高温下存在变形大、电磁特性失效以及品质因数和灵敏度低的问题,针对这些问题,主要研究如下:（1）分析了高温下涡流检测的原理,设计了一种感应探头结构。通过对涡流传感器基本工作原理进行分析,建立了系统的等效电路模型,并以此为基础推导出探头阻抗与温度、位移的一一映射关系。分析一般探头不适用于高温环境的原因,根据小尺寸、高电感和高品质因数的要求将感应探头设计为多层平面螺旋结构。采用空气芯作为感应探头的磁芯,解决铁氧体作为磁芯时高温失效和测量精度低的问题,并且根据有限元仿真结果确定了探头线圈的形状和材料。（2）研究了感应探头阻抗特性的影响因素,优化了探头的结构参数并进行实验制作。首先通过COMSOL电磁场仿真分析激励源频率、被测物尺寸和电磁特性对探头阻抗特性的影响规律。然后利用Solid Works和COMSOL建立求解模型进行参数化分析,并且结合遗传算法建立数学优化模型,以提高灵敏度和线性度为目标优化线圈的外径、匝数、线宽和厚度等参数。最后研究LTCC工艺并根据实验测量结果对打孔、丝网印刷和烧结等关键工艺进行优化,得到最终的感应探头实物。测量结果表明:感应探头的结构尺寸满足设计要求,线圈线径误差小于5%,相对位置误差小于10μm,探头整体电气性能优良。（3）根据性能要求搭建实验平台并进行了性能测试。搭建实验平台测试探头的阻抗特性和位移特性,实验平台主要分为信号采集和测试系统,位移控制系统和被测目标三部分。测量频率、被测物尺寸、电磁特性和位移对探头输出阻抗的影响,结果表明探头在低频时显现电感特性,自谐振频率为1.8MHz,在1MHz的工作频率下品质因数为17.65,测量范围可达5mm,阻抗模灵敏度为16.8Ω/mm。搭建高温实验平台,将探头在600℃下放置4h恢复至常温后测量其结构和阻抗参数,与之前结果对比表明探头的结构和电气性能未发生明显改变。在200℃、300℃和500℃的高温下测量探头的阻抗特性,结果显示高温下探头阻抗的变化趋势与常温相同,验证了高温下测量位移的可行性。