半导体气体传感器在工业生产,生活的各个方面广泛使用,具有广阔的市场开发前景。由于ZnO具有优异的光电性能和气敏性质,本论文以ZnO纳米材料为基础,通过形貌控制、掺杂和表面修饰等方法制备了具有高灵敏性和选择性的光电气敏传感器材料。通过测量不同形貌的ZnO纳米材料的气敏性质,分析影响光电气敏响应强度的各种因素,证明材料的比表面积和光生电荷效率是影响光电气敏响应强度的两个关键。通过掺杂过渡金属促进有机物挥发性气体分子的吸附,分别制备了对水蒸气、乙醇和丙酮敏感的光电气敏材料。利用电子给体型有机物联苯偶氮修饰氧化锌提高其光生电荷浓度,促进其对氧气的吸附,获得了对氧气高灵敏的气敏传感器。将联吡啶钌修饰在氧化锌上,利用联吡啶钌中产生的光生激子容易和C=O基团产生振动耦合的作用,从而制备出对C=O基团具有选择性的光电气敏传感器。