氢气具有燃烧效率高、燃烧后产物只有水，无污染、可再生、易制备、质量轻、可利用率高等优点，但是它在生产、运输、储存和使用方面，却也存在着很大的安全隐患，因此对氢气泄露进行及时的监测和预警就显得极为重要，气体传感器是检测系统的核心。目前气体传感器存在着结构复杂，一致性差，可靠性差及功耗大等问题。　　针对上述问题在此设计并制作一种微型陶瓷基板气体传感器，实现对氢气的检测，并对该传感器性能进行系统分析。其中主要做了以下研究内容：　　设计出微型氢气传感器的结构，并对其进行有限元分析，通过有限元分析软件 Ansys Workbench15.0对传感器结构进行优化，阐述气体传感器工作时热传导的三种方式，建立传感器热传导模型，对传感器进行温度场及热应力场分析，验证所设计的传感器工作时温度分布均匀，热应力在要求范围内。　　研究微型氢气传感器的制作工艺及关键技术，通过磁控溅射及光刻剥离工艺制作出金属电极，采用溶-凝胶法制备二氧化锡敏感材料，利用激光微加工技术对传感器进行调阻及切割，同时对测试气体浓度的电路进行设计及标定，并对传感器进行焊烧封装，完成传感器的制造。　　搭建传感器性能测试平台，并对传感器测试环境进行设定，为满足后续的传感器性能综合测试奠定基础。　　测试所制作传感器的综合性能，试验结果表明传感器的量程为500-5000ppm，响应-恢复时间为别为8秒和7秒，传感器的重复性为4.75％，一致性误差为4.96%，并且通过60天的稳定性测试，稳定性误差为11%，表明所设计的传感器稳定性良好；通过功耗测试，传感器工作的功耗为0.36W。　　本文所设计的微型氢气传感器具有尺寸小，工作温度分布均匀，灵敏度高，功耗低，一致性好以及稳定性高等优点，适用与便携检测或气体泄露预警。