聚合物Kapton由于具有较高的比强度,优越的热稳定性、绝缘性、紫外线辐射稳定性及红外线穿透功能,是航天飞行器常用的材料,但由于空间环境中的原子氧对这种材料造成极大的损害,大大限制了这种材料在空间环境下服役时间。本文利用Al-Si合金和纯Al作为靶材,通过多弧离子镀的方法在Kapton膜上制备防护膜层。然后在原子氧(Atomic Oxygen,AO)侵蚀地面模拟设备中对Kapton薄膜以及防护膜进行原子氧侵蚀试验。用X射线衍射分析(XRD)、光电子能谱(XPS)对基体薄膜及镀膜的物相成分、化学结构进行表征。利用划痕试验分析不同工艺制备的防护膜与Kapton膜的结合情况。利用Lambda-9分光光度计、扫描电镜(SEM)等对比了镀膜前后Kapton膜抗原子氧侵蚀能力,得到了防护性能较为优良的防护镀膜。结果表明:Al靶制备的防护膜成分为A1 2 O3以及未被氧化的Al,Al-Si合金靶制备的防护膜成分为SiO 2、A1 2 O 3、Al 3.21 S0.47化合物以及未被氧化的Si和Al。影响防护膜质量的重要指标是镀膜负偏压以及镀膜时间。当负偏压为200V,镀膜时间为10min时得到的防护膜与Kapton膜的结合力最好。AO对Kapton薄膜有较严重的侵蚀作用。Kapton薄膜被侵蚀后化学结构、元素百分含量和表面形貌均发生明显变化。在本文中,Al-Si合金靶材制备的防护膜的性能优于Al靶,镀膜最佳参数为负偏压200V,镀膜时间10min。