脆性材料的共性是具有高强度、高硬度、高脆性、耐磨损和腐蚀、隔热、低密度和膨胀系数及化学稳定性好等特点,是一般金属材料无法比拟的。但是通常脆性材料坯料必须经过机械加工才能应用。然而,脆性材料具有的低塑性、易脆性破坏、微裂纹以及加工方法选择不当会引起工件表面层组织的破坏的缺点,使得脆性材料的加工十分困难。因此,如何实现脆性材料高质量加工表面是目前先进制造技术领域一个重要的研究主题。本论文主要用溶胶―凝胶法制备的磨抛工具对硅片、工程陶瓷和石材这三种典型的脆性材料进行了研磨实验研究。主要结论归纳如下:1、使用Al₂O₃溶胶―凝胶抛光垫加工硅片时,当抛光压力达到一定的重量后,硅片的表面质量将不会有所增加;磨料浓度达到一定值后,硅片的表面质量也将趋于相对稳定;当磨料粒度降低到一定的大小后,磨抛垫对硅片的抛光效果将不会有太大的变化;随着抛光垫转速的增加,硅片的磨抛加工表面状况会逐渐变好;加工到一定时间长度后,再长的磨抛时间对硅片的加工表面质量影响不大。2、通过采用金刚石磨料制作的溶胶―凝胶抛光垫对硅片进行抛光实验结果表明,利用金刚石磨料进行硅片的抛光无法获得理想的加工表面。3、通过用金刚石溶胶―凝胶磨抛片对工程陶瓷（SiC）材料的磨抛实验结果表明,与相同磨料的树脂结合剂抛光盘相比,溶胶―凝胶磨抛片具有更好的抛光效果,虽然其抛光效果比用聚氨脂盘游离磨料抛光的效果稍差,但其加工效率是聚氨脂盘无法达到的。4、使用金刚石溶胶―凝胶磨抛片加工石材时,石材表面粗糙度随着磨料粒度的减小而减小,随着磨料浓度和加工次数的增加而减小,相应地,石材的表面形貌随着所用磨料粒度的减小及加工次数的增加而变好,石材表面逐渐变得平整。5、抛光垫对硬度较小的石材（如雪花白）具有较好的抛光效果,效率也比较高,而对硬度比较大的石材（如山西黑和枫叶红）的抛光效果并不理想。6、溶胶―凝胶磨抛片和传统的固结磨料抛光片的加工机理类似,最主要的加工方式也是进行微切削加工,起加工作用的是微露出结合剂的磨粒。而溶胶―凝胶磨抛垫起加工作用的除了这部分磨粒外,还有一部分磨粒则在工件与磨盘片之间发生滚动,产生滚轧效果,从而达到表面去除以及抛光的目的。