在镀铝玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜的结晶特性研究

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氮化镓(GaN)作为一种宽直接带隙(室温禁带宽度为3.39eV)半导体材料,具有电子饱和漂移速度高、热导系数高、介电常数小、化学性质稳定和热稳定性好等特性。GaN基器件已经广泛应用于半导体发光二极管(LED)、半导体激光器(LD)等光电子器件上,同时由于它还具有高的声波速率、很好的压电特性,又使其成为制备兆赫兹级声表面波器件(SAW)的理想压电材料。目前GaN薄膜主要是在蓝宝石(α-Al2O3)碳化硅(SiC)、氧化锌(ZnO)和硅片等异质衬底上制备的,其中最常用的是α-Al2O3衬底,但α-Al2
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为改善能量的转换效率,并降低成本,科研者们提出了第三代太阳能电池的概念。第三代太阳光伏电池的目标是在第二代薄膜电池的基础上充分利用太阳能的全光谱,提高光电转化效率,并降低成本,并有利于环境保护和生态平衡。对传统电池而言,紫外光线要么直接被渗漏出去,要么被硅器件吸收,但转化的是热能而并非电能,这有可能影响电池的使用寿命。研究表明紫外线能够与尺度合适的纳米硅颗粒结合,使之转换为可见光,并产生电能。Mu
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射流振荡气波制冷机作为一种膨胀制冷设备,是通过射流振荡器生成振荡射流对一端封闭的振荡管周期性的射气,利用激波和膨胀波的运动,来实现冷热分离,到达制冷目的。射流振荡气波制冷机的突出优点是无需输入外加能量并且没有转动部件,只需简单的静密封。目前,射流振荡气波制冷机的研究还不成熟,其等熵制冷效率较低,不能满足天然气的工业生产要求。本文采用数值模拟和实验测试的手段对以音波振荡器为振荡源的射流振荡气波制冷机
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硼碳氮(B-C-N)作为一种新兴的人工合成三元材料,其优良的机械、电学和光学性能使其应用在许多工业领域如:硬盘保护、半导体器件等都有着广泛的应用前景。B、C、N三种原子的成键状态对薄膜的物理性能有重要影响,所以研究不同实验参数对BCN薄膜结构和成键的影响有着重要的意义。实验采用射频磁控溅射方法制备BCN薄膜,研究了沉积温度、氮气(N2)流量、以及不同靶材和基片的选择对BCN薄膜成键状态的影响。采用
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