随着纳米技术的不断发展,纺织材料被广泛地应用到装饰用、产业用纺织品领域,而研究开发新型功能化纳米纺织材料也成为材料研究领域中的热点。ITO (Indium Tin Oxide,氧化铟锡)薄膜以其良好的电导率性能、在可见光范围内的高透射性能以及在红外区内的高反射性能,成为制作透明电极材料的新宠,被广泛地应用于制造液晶平板显示器(LCD)、等离子体显示器、电致发光显示器、太阳能电池、节能视窗、汽车防雾玻璃等,应用前景广阔。本论文采用射频磁控溅射技术在涤纶纺粘非织造布表面沉积ITO纳米功能膜后,首先利用X射线能谱仪(EDX)和X射线衍射仪(XRD)验证了氧化铟锡在纺织基材表面的存在。同时使用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)对ITO薄膜的微观结构进行了观察与分析,探索了实验工艺参数与薄膜微观结构之间的关系,发现较高的溅射功率将导致颗粒直径增大;工作气体压力和膜厚的变化将影响成膜的均匀性、连续性;氧气流量的增加,会增大颗粒的尺寸、提高颗粒结晶程度;基底温度的升高则会导致ITO颗粒产生热迁移现象。接着,利用紫外可见分光光度计和四探针电阻仪对溅射前后的非织造布进行测试,分别得到实验工艺参数的变化对其抗紫外性能和导电性能的影响规律。实验表明:表面沉积了ITO薄膜的材料具有更好的抗紫外性能,且膜厚越大、氧气流量越小,镀膜材料的抗紫外线性能越好。同时,溅射功率越大,基底温度越高,膜厚越大,镀膜材料导电性能越好;气体压力越高,镀膜材料的导电性能越差;氧气所占体积比过大将导致镀膜材料出现不导电现象。最后,通过扫描电镜、剥离实验、耐磨实验观察分析了薄膜—基材的界面微观结构状态、界面结合牢度和性能。发现ITO纳米薄膜光滑、致密,能较好地和纤维结合在一起,且具有一定的韧性。不同工艺条件下沉积得到的薄膜附着力也不一样,膜厚的增加、基底温度的升高都可能导致薄膜附着力的提高。同时,薄膜与各不同基材之间存在着大小不一的附着力。其与胶带膜间的附着力最大,与棉平布间的次之,与纺粘非织造布的最小。除外,表面沉积ITO纳米功能膜后,材料的耐磨性能得到明显提高,并随着膜厚增加而稳步上升。