基于纳米孔测序的磁镊微控系统设计与制造

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基于纳米孔的第四代DNA测序技术是目前最有可能实现常规化基因疾病诊断治疗手段。纳米孔芯片为DNA测序实验的核心器件,实现DNA分子占位信息到离子电流的转化传感器;而磁镊是控制简化DNA复杂过孔行为的有效手段。由此本文所做的主要工作有两方面:(1)基于动力学校对机理的固态纳米孔测序技术,本文设计了全新结构的纳米孔芯片,在氮化硅/氧化硅/氮化硅(Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4)三明治结构层的基础上,增加了氧化硅/氮化硅(SiO_2/Si_3N_4)双牺牲层,在减小悬空薄膜应力的同时还能通过增
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