SiC单晶片高效低损伤加工机理及试验研究

来源 :西安理工大学 | 被引量 : 1次 | 上传用户：gmwzg

【摘要】

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【作者】

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肖强

【出处】

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西安理工大学

【发表日期】

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2013年01期

【关键词】

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SiC单晶片 ELID磨削表面粗糙度材料去除率超声波研磨

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