【摘 要】
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高电荷态离子与固体表面相互作用过程中x射线发射研究涉及能量转移机制、离子中性化、原子结构和能级寿命等，具有重要的学术价值，在表面分析和加工、短波辐射源开发等方面具有
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高电荷态离子与固体表面相互作用过程中x射线发射研究涉及能量转移机制、离子中性化、原子结构和能级寿命等，具有重要的学术价值，在表面分析和加工、短波辐射源开发等方面具有潜在的应用价值。本论文主要包括以下几个方面：
1．介绍高电荷态离子与物质相互作用的过程和发展现状，以及兰州重离子加速器国家实验室ECR离子源上建成的用于高电荷态离子与固体表面相互作用研究的物理实验终端。
2．通过对高电荷态离子(Ar)与固体靶表面相互作用发射的x射线的研究，给出了靶原子发射的x射线对于入射离子动能的依赖关系。
3．计算了实验中得到的Ar与金属靶(Nb，Mo，Zr)相互作用激发出的靶原子x射线的产额及截面，利用结合能修正的二体碰撞近似理论与实验值比较，得到较好的符合。
4．计算了实验中得到的Ar与金属靶Al相互作用激发出的靶原子K壳x射线的产额及截面，理论上用2pπ-2pσ分子轨道耦合理论和考虑Ar离子2p壳层空穴在固体内的衰减来处理，理论计算结果和实验结果符合较好。
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