【摘 要】
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该文是利用等离子体化学气相淀积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD),在低温低压下,使用有机物TEOS(正硅酸四乙脂,Tetraethylorthosilicate,Si(CHO))为反应源在硅片表面上生长P-SiO介质膜以及P-SiON钝化膜,利用制程参数(RF功率、基板温度、气体流量以及反应压力)的改变,来探讨对薄膜的生长特性、硬度
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该文是利用等离子体化学气相淀积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD),在低温低压下,使用有机物TEOS(正硅酸四乙脂,Tetraethylorthosilicate,Si(C<,2>H<,5>O)<,4>)为反应源在硅片表面上生长P-SiO<,2>介质膜以及P-SiON钝化膜,利用制程参数(RF功率、基板温度、气体流量以及反应压力)的改变,来探讨对薄膜的生长特性、硬度、应力、附着性及折射率的影响.通过实验研究可以看出,与传统的SiH<,4>系SiO<,2>介质膜和SiON钝化膜相比,TEOS系薄膜作为介质膜和表面钝化膜具有膜质优良、可控性好的特点.其次,在大生产中,具有安全性好、成本低廉的优点.可广泛推广应用于IC的制造工艺中.
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晚清湖湘学者在老庄学的研究上颇有特色,晚清湖湘老庄学的兴起,是湖湘文化传统精神和现实激烈碰撞的结果,也是晚清湖湘人文荟萃的社会和文化氛围培植下的结果,当然,也与学者自身的教育背景有关。 以郭庆藩、王先谦、王闿运为代表的湖湘老庄研究者基本上是乾嘉考据派的传人。魏源《老子本义》在思想价值方面显得很突出,虽然没有套用西学的方法来阐释《老子》的本义,从这一点来说,近代性显得不足,但魏源在这里毕竟比传统的
旅游史研究在旅游学和历史学的研究中皆未深入展开,现代旅游史研究更少有人涉足。长沙现代旅游业的发展已有近三十年的历史,既是中国现代旅游发展的缩影,也是中部地区省会城市现代旅游发展的典型代表。当前,经济全球化日益明显,金融危机日趋加剧。危机蕴涵契机,本文根据湖南省委省政府提出的“把湖南省建设成为世界级旅游目的地”和长沙市委市政府提出的“将长沙建设成为全国知名的文化旅游休闲之都,实现长沙由国内旅游向国际
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