计算机辅助干涉仪测量小偏离量光非球面的方法研究

来源 :中国科学院光电技术研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjxydn
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该论文的工作是分析非球面检验的特点和难点的基础上,针对大口径小相对孔径和小口径大相对孔径这种小偏离量非球面,利用相位干涉法得到非球面特征干涉图,提取干涉图的相位数据值与百球面理论值相比较,从而得到非球面的加工面形质量.编制的软件可计算理论偏离量、绘制计算机模拟干涉图、Zernike多项式拟合、 波面相差分析并绘制二维、三维和等高线波面图.完成了非球面的面形测试实验,得出的实验结果验证了该方法的正确性.该研究工作中提出的测试方法.较好解决了小偏离量非球面的高精度定量测量和批量化生产定性测量难题,为非球面的应用和发展打下了坚实的技术基础.
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