WO3薄膜是发现最早，研究最为深入的无机电致变色(Electrochromism)材料，在智能窗、显示器件、太阳能电池等领域具有非常好的应用前景。为了能够应用于实际，需要进一步提高其电致变色性能。因此，提高WO3薄膜的调光性，延长循环寿命，缩短响应时间，制备电致变色性能优异的WO3薄膜，已成为光化学、材料科学等领域的前沿研究课题。　　 本论文采用射频磁控共溅射法分别在Si片、ITO玻璃基底上制备一系列不同Ag组分含量(3.0～12.0Vol.％)的Ag-WO3颗粒复合薄膜，同时沉积纯WO3薄膜作为对比。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱仪(XPS)、紫外可见分光光度计(UV-Vis)、椭圆偏振光谱仪(SE)、电化学工作站等测试仪器分别对所制备薄膜的微结构、表面形貌、组分、光学性能及电致变色等性能进行表征，研究Ag组分含量与溅射时间对薄膜的微结构、表面形貌、组分、光学性能与电致变色性能的影响。　　 结果表明：室温下沉积的薄膜均无定形态，当金属Ag镶嵌于WO3基中，结构由四方相结构转变为单斜相，并且随着Ag组分含量的增加，复合薄膜的生长择优取向发生改变，薄膜中的Ag组分主要以Ag单质的形式存在。随着Ag含量的增加，薄膜变色所需的电压下降，响应时间减少，薄膜电极的反应速度提高，该结果归因于复合薄膜的载流子浓度随Ag含量的增大而增多。然而，薄膜的循环性能随着Ag含量的增加而下降，这主要是由于在氧化还原过程中复合薄膜中的Ag组分与注入薄膜中的Li﹢离子发生相互作用，阻碍了Li﹢离子从着色后的薄膜中抽出，使得薄膜的褪色性能下降。　　 为了提高Ag-WO3复合薄膜的循环性能，在不同的溅射时间下制备6.0Vol.％Ag-WO3薄膜，研究溅射时间对该复合薄膜电致变色性能的影响。分析结果表明，在不同的溅射时间下制备的复合薄膜均为单斜相结构，并沿着晶面指数(110)方向择优生长，在溅射时间为30min的条件下，复合薄膜的循环性能明显提高，并且薄膜的调光度达到46.3％，响应时间为3.5s，这是由于该条件下制备的薄膜表面疏松多孔，有利于Li﹢离子的注入/抽出，从而实现良好的变色可逆性。　　 本文的创新点：　　 ①首次采用射频磁控共溅射法将金属Ag镶嵌在WO3基中，研究Ag-WO3颗粒复合薄膜的电致变色性能。　　 ②通过研究溅射时间对复合薄膜微结构、表面形貌及电致变色性能的影响，获得了最佳的溅射时间，提高了复合薄膜的循环性能。　　 ③通过对纯WO3薄膜与Ag-WO3复合薄膜的电致变色性能的研究，可以推断复合薄膜中Ag颗粒与注入的Li﹢离子发生相互作用，为探讨薄膜的电致变色机理提供了实验依据。