【摘 要】
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该文从制造的角度讨论了扫描探针显微术和实验装置-扫描探针显微镜(SPM).文章 叙述了制作SPM的各个方面,主要是实际制作中的问题、经验和体会.论文先讨论了机械部 分,研究了
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该文从制造的角度讨论了扫描探针显微术和实验装置-扫描探针显微镜(SPM).文章 叙述了制作SPM的各个方面,主要是实际制作中的问题、经验和体会.论文先讨论了机械部 分,研究了振动隔离的一般原理,并且讨论了一级悬挂弹簧振动隔离系统的优劣和特性.其次讨论了电路部分,分析了电流放大器、反馈回路、控制和扫描电路.仔细分析了反馈回路的基本原理和实际电路应用的比例积分电路,并且最后给出了实验结果.然后,讨论了实际电路实现SPM操作的一些问题,在进针操作中针对实际问题,提出了一种新的进针流程,在 扫描操作中,实现了VectorScan的技术,解决的大台阶跳变的问题,最后讨论了控制软件和图形处理软件的编写问题,设计了层次化和模块化的软件结构,设计了几个数据传输协议.
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