苯和氯苯在Si(111)-7×7表面化学吸附行为的理论研究

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该论文运用精确的从头计算方法和密度泛函方法,较为系统地研究了苯和氯苯在半导体Si(111)-7×7表面上的表面化学吸附行为.该论文的主要工作成果如下:1.采用两种大小不同的原子簇模型Si<,30>H<,28>和Si<,13>H<,16>,分别用两层ONIOM方法(对较大原子簇)和普通量子化学方法(对较小原子簇)考察了苯分子在Si(111)-7×7表面的化学吸附.对三种可能的吸附物种分别用DFT或HF方法进行了计算.2.该论文用较高级精确密度泛函方法(B3LYP)的理论方法计算了氯苯在Si(111)-7×7表面的化学吸附.计算了在未错位和错位两个部分的四种不同的原子簇,即错位和未错位的中心吸附原子-剩余原子对和顶角吸附原子-剩余原子对上所有的可能形成的双位吸附物种和单位吸附物种构型,并对这些吸附构型做了零点能的校正.
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