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生化微系统是MEMS的重要方向之一，而生化样品的微量取样和计量是生化分析过程的重要环节，微针执行器的研究因此受到关注。本文总结了国内外关于微针执行器的研究，提出了一种新的设计方案。 作者设计了一种用于生化样品的微量计量和采样的电磁驱动的微针执行器。此微针执行器的结构包括微针、微通道、反应室、金电极以及永磁阵列组成的隔膜执行器。通过外加电磁场，可以实现双向的驱动。整个执行器的尺寸为6mm×8mm×60μm，其针孔截面为20μm×20μm。 作者利用M