微方孔结构在航空航天、信息通信、精密模具等领域中有着广泛的应用,受刀具材料和尺寸的限制,传统机械加工技术很难应用于微方孔的加工中,加工微方孔结构通常采用特种加工技术。本文对电火花电解复合加工技术加工微方孔与异型微方孔进行了基础试验研究,主要完成了以下工作:（1）研究了分层铣削加工方式下电火花电解复合加工微方孔的机理。介绍了RC脉冲电源的单脉冲放电能量的计算方法,分析了影响该能量大小的因素以及RC式脉冲电源获取小能量脉冲和超窄脉冲宽度的参数控制方式。介绍了电火花电解复合加工微方孔的试验系统。（2）进行了微方孔电火花电解复合加工试验,通过试验探究了电解液浓度、电压、电容对微方孔加工质量、电极损耗以及体积加工速率的影响,研究发现电解液浓度与电压为主要影响因素,在小加工参数下电容产生的影响较小。探究了电火花电解复合加工对微方孔侧壁重铸层的改善状况,通过金相照片对比,发现在低盐溶液中进行电火花电解复合加工基本能去除加工过程中放电作用产生的重铸层。（3）研究了凸台形电极的在线制备工艺,并进行了上下异型微方孔的电加工试验。进行了电火花成型加工、电火花分层铣削加工、激光-电火花组合加工、分步式电火花铣削加工以及电火花电解复合加工异型微方孔的工艺探索。探究了不同加工工艺中异型微方孔加工质量及电极损耗状况,主要研究了电火花电解复合加工参数对异型微方孔加工质量及电极损耗的影响。