【摘 要】
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近年来,伴随着半导体行业和微电子行业的崛起,传统的真空泵因其无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求而逐渐被新兴的干式真空泵所代替。干式螺杆真空泵就是一种常见的干式真空泵,因其结构紧凑、清洁无油、抽速大、寿命长、能适应恶劣工况以及可直排大气等优点受到众多企业和科研单位的广泛青睐。但由于国内干式螺杆真空泵研究起步较晚,螺杆转子的关键加工技术被国外垄断掌握,我国主要依赖于国外进口,价格昂贵,供货周期较长,无法满
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近年来,伴随着半导体行业和微电子行业的崛起,传统的真空泵因其无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求而逐渐被新兴的干式真空泵所代替。干式螺杆真空泵就是一种常见的干式真空泵,因其结构紧凑、清洁无油、抽速大、寿命长、能适应恶劣工况以及可直排大气等优点受到众多企业和科研单位的广泛青睐。但由于国内干式螺杆真空泵研究起步较晚,螺杆转子的关键加工技术被国外垄断掌握,我国主要依赖于国外进口,价格昂贵,供货周期较长,无法满足市场需求。因此,本文以干式螺杆真空泵的核心部件螺杆转子作为研究对象,研究了单头和多头螺杆真空泵转子端面
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