真空系统中使用的各种材料，由于加工、清洗、装配、运行过程中存在有机物残留，使得材料表面有污染物质。这些污染物质在真空中会再次脱附释放出来，释放出来的污染物有些漂浮在真空系统中，导致系统洁净度的下降;有些则沉积到系统内壁或器件的表面，导致系统的污染和器件性能的下降。因此材料表面污染物的检测具有重要意义。　　本文首先介绍了材料表面污染物的常规检测的方法，并进一步详细介绍了目前比较常用的几种常温常压污染物检测方法的基本原理和应用，对比了它们的优点与不足;然后重点对大气压下进样的热解吸方法进行了系统的实验研究，主要探究了影响热解吸方法的两个关键因素:载气的出口温度和进样装置的进样效率。通过对载气出口温度的研究，发现了载气出口温度散失的主要途径并采取了相应的保温措施，目前载气的出口温度可以达到280℃左右。通过对进样装置进样效率影响因素的研究，找到了目前进样装置的最佳进样条件。　　综合考虑载气的出口温度和进样装置的进样效率这两个因素的影响，确定了目前实验的最佳进样条件，并在最佳进样条件下确定了目前样品的检测限为μg量级。　　利用单管分析方法收集污染物并将收集到的污染物进行热解吸方法的分析与检测，验证了大气压下进样的热解吸方法是一种简单而有效的材料表面污染物检测的方法。