【摘 要】
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随着半导体的科技的迅速发展,人们应用射频/微波的场合已经越来越广泛,微波大功率器件的参数测量越来越受到重视,针对半导体器件的测试在器件研制及应用中已经扮演着重要的角
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随着半导体的科技的迅速发展,人们应用射频/微波的场合已经越来越广泛,微波大功率器件的参数测量越来越受到重视,针对半导体器件的测试在器件研制及应用中已经扮演着重要的角色。基于负载/源牵引法的微波大功率自动测试系统使得用户能够获得比器件说明书中描述的更精确的参数,从而获取被测器件在各条件下主要参数的变化情况和最佳值。本文围绕微波大功率自动测试系统的一个重要仪器——自动调配器(10GHz~40GHz),对其研制和控制运行做了详细的介绍,并以此器件为基础搭建自动测试系统,介绍其研制和应用情况。文中以VCO频率牵引测试为例,介绍了测试系统的详细工作步骤并给出了测试结果。
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