SPM定位控制方法研究及在纳米粘弹性测量中的应用

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扫描探针显微镜(scanning probe microscope,SPM)作为推动纳米技术发展的基础,近年来在纳米制造、材料加工、生物医学等领域得到了广泛的应用。然而,在对宽带高精度的SPM技术需求日益迫切的同时,其操作速度和定位精度却成为制约SPM技术商业化应用的主要因素。由于SPM系统复杂的结构和较强的非线性特征,现有的SPM控制方法在宽带高速操作中难以消除定位误差。本文针对SPM操作速度慢和定位精度低的问题,分析了压电定位系统的误差影响因素,从控制策略的角度探讨了定位控制补偿方法,具体的研究
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