随着大气环境污染问题日益严重,准确监测获取环境组分信息十分重要。光谱探测技术是大气探测的有效手段,目前朝着多波段融合、多领域应用方向发展,对光谱探测器的探测精度与响应灵敏度要求越来越高。作为紫外-红外集成探测器的关键元件,高性能的光学薄膜是实现其功能的重要保障。本文对深紫外到近红外宽波段增透膜进行研制,根据材料的光学性质、物理机械特性及折射率匹配性,筛选出合理的薄膜材料与基底材料,选择Al₂O₃和AlF₃作为高低折射率材料,JGS1作为基底材料。基于增透膜设计理论,利用膜系设计软件,分析初始膜系迭代次数与平均透射率的关系,选择合理的迭代次数;在容差型评价基础上,综合考虑膜层厚度与光谱性能的要求,建立新型评价函数;采用变尺度法与隧道方法相结合的优化方法,通过改变灵敏层的厚度,解决膜系结构出现薄层的问题,降低制备难度。在薄膜制备过程中,优化电子束蒸发工艺,研究离子源工作气体对材料光谱性能及折射率的影响,选择石英晶振法监控薄膜厚度,对不同工艺条件下膜层厚度进行修正,研究高温退火工艺方法,改善了薄膜聚集密度与化学计量比,提高了薄膜稳定性。逆向反演分析实测光谱曲线结果,分析光谱曲线偏差原因,对高灵敏度膜层厚度单独修正,降低残余蒸镀对光谱影响。分析深紫外波段产生吸收的原因,对比不同迭代次数的实际制备结果,确定最终工艺参数。经光谱测试,在200⁹00nm波段,双面镀膜平均透射率为95.8%,实现了宽波段增透效果。经过环境测试,薄膜性能稳定满足使用要求。