紫外固化系统热辐射滤光膜的研制

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【摘要】

：

为了降低紫外固化系统光源的热辐射,本文运用光学薄膜理论,从膜系设计入手,以铝纯度较高的合金板为基底,选取HfO_2、Al F_3、Cr作为薄膜材料,采用反射与吸收相结合的结构,完成了紫外高反射、可见/近红外高吸收滤光膜的设计。根据所选材料的光学和机械特性,从真空沉积技术和测试技术方面进行研究,经过分析和模拟,并不断优化工艺参数,制备了紫外反射和可见近红外吸收的滤光膜,其在220~400nm波段的平

【作者】

：

范家晨

【机构】

：

长春理工大学

【发表日期】

：

2017年12期

【关键词】

：

光学薄膜紫外固化系统热辐射过渡层材料吸收滤光膜

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