Al掺杂ZnO透明导电薄膜的制备及性能研究

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【摘要】

：

近二十年来,ZnO基薄膜由于光电学性能良好及原材料廉价、无毒性、易于实现掺杂等优点成为透明导电氧化物薄膜(TCO)研究的热门课题。国际上对铝掺杂氧化锌(AZO)薄膜的研究已取得一些成果,仍存在不足之处。当前的研究工作主要集中在:工艺的稳定性、可靠性问题;大面积高速、均匀成膜工艺问题;与光刻工艺的兼容性问题;大规模产业化问题。围绕以上问题,本论文主要进行了以下几个方面的工作:首先,以氧化锌铝(98w

【作者】

：

徐玮

【机构】

：

华中科技大学

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

AZO薄膜射频磁控溅射电阻率透射光谱太阳电池电极

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