随着改革开放的深入,高技术产业对我国经济贡献率的不断提升,高技术产业的发展已经成为一个国家未来发展趋势的核心。然而,经济活动的高投入、低产出、高能耗、低效率始终伴随着我国经济增长的发展过程。因此很有必要对高技术产业的技术效率进行研究,因为它的状况直接影响着一国经济增长的速度和质量。本文以陕西省高技术产业为研究对象,根据效率理论选取西部大开发以来陕西省高技术产业十年间的面板数据,采用AHP和DEA的思想方法从区域、行业、开发区三个角度出发分析陕西省高技术产业发展的技术效率(包括纯技术效率、规模效率)及其变化情况。研究结果表明陕西省高技术产业从西部大开发至今技术效率呈上升趋势,但在发展过程中仍存在投入与产出的比例不合理,存在一定的资源浪费,仍需要不断提高技术创新能力。从行业角度看陕西省高技术产业已经形成了一些支柱性行业且发展势头良好。陕西省五大高新技术开发区的发展存在较大的资源浪费,揭示出陕西省高技术产业发展过程中有效利用程度不够,技术创新能力不够,存在管理制度和体制不健全等问题。在以上结论的基础上通过回归分析发现人力资本的投入和资本积累的投入成为陕西省高技术产业技术效率的影响因素。针对这一分析结果从财政政策、人才投入、科学合理的管理机制等不同方面提出了陕西省高技术产业发展中的对策建议。