由于CIGS薄膜太阳能电池具有高效率、低成本、易于产业化等优点，受到越来越广泛的关注。CIGS太阳能电池的主要部分是吸收层CIGS薄膜，目前CIGS薄膜的制备方法有溅射、蒸镀、还有非真空的电镀、印刷、化学气相沉积(CVD)等各种方法。本文主要研究了采用磁控溅射制备CIGS薄膜时，各种因素如溅射预制层时对预制层进行加热，叠层法基底的温度，不同的溅射顺序等对制备CIGS薄膜的影响。研究了预制层硒化方法制备CIGS薄膜时，金属预制层加热与不加热在晶体结构，表面形貌及成分分布的区别。实验结果表明，金属预制层加热对于改善晶体结晶状况、表面形貌、薄膜半导体电学及光学性能都有积极的作用。研究了利用叠层法制备CIGS太阳能电池时，不同的叠层温度对于CIGS在表面形貌，晶体结构及各种元素成分分布的影响。为了使制备的CIGS薄膜能够与基底具有良好的粘接性以及平坦的表面形貌，合适的化学配比，也进行了大量的实验来对实验的流程及工艺进行改善，XRD，SEM，AES，XPS，Hall Effect等测量结果表明，所制备CIGS薄膜结晶良好，表面较为平坦，各种成分的含量及沿深度分布合适，具有良好的半导体电学性能及光学性能，达到用来制备CIGS太阳能电池的条件。在利用真空方法制备CIGS薄膜的同时，紧跟国际上CIGS太阳能电池发展的趋势，同时也是为了进一步降低CIGS太阳能电池制备的成本，也开发了非真空的方法制备CIGS薄膜，并最终制备了能够用于制备CIGS太阳能电池的CIGS薄膜。为了制备出性能优越的CIGS薄膜，除了在工艺上进行改进之外，也采取了一些物理的、化学的后处理方法对薄膜进行后处理，本文中采用了化学处理、激光处理等方法，并且对处理前后的薄膜进行了相应的测量，测量的结果表明处理对于改善晶体及薄膜的性能是有益的。本文在北京大学新能源中心一系列工作的基础上，首次对叠层法制备CIGS太阳能电池时基底温度对制备CIGS薄膜的影响进行了研究，并且得到了非常有成效的结果。