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热电材料是一种能将电能与热能相互转换的功能材料,近年来备受关注。Bi_2Te_3系热电材料作为室温附近性能最好的热电材料之一,在医疗、光电子、航空航天、军事等领域有广泛应用前景。块体Bi_2Te_3系热电材料的热电性能较低,限制了其大规模的应用。纳米技术的发展,给热电材料的研究带来了新的发展机遇。研究表明,热电材料随维度的降低,热电性能大幅度提高。本文在综述国内外的研究现状的基础上,提出了论文的主要研究内容。在改进了现有真空镀膜系统后,开展了闪蒸法制备Bi_2Te_3系纳米薄膜的研究工作。采