低能Pt原子及原子团簇与Pt(100)表面作用的分子动力学模拟

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薄膜生长机制是薄膜科学研究的重点内容之一。在原子分子尺度上研究原子与基体之间的相互作用对于探讨薄膜生长的物理机制,改进薄膜的质量是至关重要的。 在本论文中,我们用分子动力学系统地研究了低能Pt原子与Pt(001)面的相互作用。模拟中采用EAM原子间相互作用势。入射原子初始动能从0.1eV变化到200eV,基体温度分别为100K,300K和500K。单胞的体积为6a0×6a0×4a0(a0=0.392nm为Pt的晶格常数)或8a0×8a0×4a0。模拟中考察了表面吸附原子产额、溅射原子产额、空位缺陷产额和被散射产额,并讨论了与其相关的作用机制。 我们用分子动力学模拟了低能Pt38,Pt141和Pt266原子团簇在Pt(001)表面的沉积过程。入射原子平均动能为0.1eV,1.0eV和10eV,基体温度为300K。单胞的体积分别为12a0×12a0×5a0,20a0×20a0×5a0和30a0×30a0×8a0。模拟中考察了团簇质心坐标,基体温度及团簇原子平均动能随时间的演化,并对三种团簇在不同参数条件下对基体的影响进行了讨论。
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