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MEMS传动器件的工作间隙小、运转速度高且工作循环多,相对于传统机械而言,其摩擦副表面极易因摩擦磨损而造成早期失效问题。由于缺乏成熟有效的微摩擦磨损测试手段,很多润滑方法与减摩技术无法得到深入研究。为此,本文针对微型器件的摩擦磨损测试需求,设计了一套能够模拟MEMS高速运行工况的微摩擦磨损测试系统。设计了采用环-块式摩擦副接触形式的微摩擦磨损测试装置,主要由微载荷施加模块、微载荷测量模块、微摩擦力测量模块和旋转运动模块四个部分组成。分别实现微载荷的施加、微载荷与微摩擦力的测量以及摩擦副的相对运动功能