现代半导体材料向着大规格、高精度、高效率、低成本的方向发展，对传统的半导体切割加工技术和设备提出了新的挑战。多线切割作为一种实用高效的半导体材料切片加工方法，近年来得到了越来越多的重视和发展。对多线切割技术来说，切割线张力控制问题是研究的重点和难点。本文针对张力控制问题，主要进行了张力控制理论和控制算法的研究。　　 本文在分析了各种不同张力控制方式特点的基础上，结合多线切割加工技术特点及其对张力控制的要求，选取力矩电机作为张力控制机构，并设计了控制方案；基于控制方案，分析和建立了多线切割机张力控制系统的数学模型；在此基础上，分别设计了分段PID控制算法和基于NLMS算法的自适应反馈补偿控制算法来控制张力；最后在MATLAB环境下进行了算法的模拟仿真。　　 本文设计的自适应反馈补偿算法，通过设计自适应滤波器对收/放线电机进行系统辨识，并结合反馈的张力摆杆的偏转速度和偏转大小；利用NLMS算法对收/放线电机的转速输入进行自适应动态修正，以补偿卷径大小等时变量对张力的影响，保证收/放线电机对主轴电机的线速度跟随精度，并将张力摆杆稳定在平衡位置附近，最终达到精确控制张力的目的。MATLAB仿真实验表明，该算法具有精度高、响应速度快、鲁棒性好、运算量小等特点，可以满足多线切割加工对张力控制的要求。　　 目前，我国在多线切割技术领域的研究尚处于初级阶段，现有的张力控制理论和技术还尚未成熟。本文的研究工作对多线切割机线张力控制系统的设计、开发和调试提供了一些理论依据，具有一定的参考价值和实际应用价值。