放电泵浦的脉冲气体激光器，为了能够获得较高的激光能量输出，要求在高气压气体介质空间上获得均匀的辉光放电，时间上维持较长的放电稳定性。准分子激光的工作介质上能级寿命仅为10-8s量级，只有短脉冲快速放电才能形成粒子数反转，一般要求激励脉冲上升时间小于150ns。本论文利用脉冲功率技术及磁开关脉冲压缩的基本原理，对设计的脉冲电源各个电路模块进行了理论计算。在此基础上选择了合适的功率开关管及其驱动模块等关键部件，设计出由两级磁开关压缩的Fitch高压脉冲发生器组成的脉冲放电电路。这种电路结构避免了现有脉冲电源高压磁开关复位电路隔离的困难，并利用低压端的复位电流调节提供了一种脉冲延时的调节手段。在磁开关脉冲压缩电路实验中，本文采用了步进串级的分析方法，对压缩效果及最终形成的高压脉冲波形进行了分析。在尖端放电模拟实验条件下，得到负载脉冲上升沿约135ns，脉冲电压峰值约21.2kV。随后接入激光器放电室的放电电极进行实验，获得了可靠的短脉冲快速放电，负载脉冲上升沿约129ns，脉冲峰值电压约14.6kV。对输出高压脉冲的延时抖动进行了仔细的分析，认为主要原因是第一级磁开关饱和过程中充电电压不稳及未耦合复位电路。最后通过设置复位电路和提高充电电压大幅度降低了延时抖动的分散性。论文提出的两级磁开关Fitch高压脉冲发生器放电电路为准分子激光器的快脉冲放电电路提供了一种新途径，在脉冲放电特性、复位电路以及延时分散性方面的研究，为这一放电电路的实用化做好了准备。