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油扩散泵是一种广泛应用于电子、冶金、化学、原子能等工业部门和空间技术等科学研究领域中的高真空获得设备,因其结构简单,没有机械转动,无振动,无噪音,操作方便,便于维护,使用寿命长等优点,很受使用者的认可。但扩散泵工作介质为扩散泵油,提高扩散泵的工作稳定性、减少扩散泵的返油一直是扩散泵研究者和使用者致力解决的重要问题。扩散泵的抽气特性、返油率等与油蒸汽射流形态密切相关,受到泵入口压力、泵的几何尺寸以及泵油的种类等因素影响。本文在分析扩散泵内部蒸汽射流流动特性的基础上,运用Fluent软件对扩散泵射流场进