【摘 要】
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该文系统研究并比较了Ti6Al4V合金等离子体基离子注入(PBII)氮、光洁度入氮再注入氮再辉光放电沉积碳及注入碳再辉光放电沉积碳层成分、结构、硬度及摩擦学行为.采用X射线光
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该文系统研究并比较了Ti6Al4V合金等离子体基离子注入(PBII)氮、光洁度入氮再注入氮再辉光放电沉积碳及注入碳再辉光放电沉积碳层成分、结构、硬度及摩擦学行为.采用X射线光电子能谱(XPS)分析了改性层成分及化学结构变化.还用激光喇曼(Raman)光谱对岩石层结构时行了分析.利用小掠射角X射线衍射(GAXRD)、透射电子显微镜(TEM)、高分辨电子显微镜(HRTEM)研究了改性层平面与截面显微组织结构.使用光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察了改性层表面形貌.使用微载荷维氏显微硬度计测量了改性层表面不同载荷下的硬度分布.使用球-盘式摩擦磨损试验机结合表面轮廓仪、扫描电镜、能谱(EDX)、高精度光学天平等测试了改性试样不同摩擦磨损试验条件下的摩擦学行为.首次对Ti6Al4V进行BPII法注入氮再注入碳,发现如此双重离子注入层含量深度分布为最表面有一单一碳层,然后碳含量逐渐降低,过渡到C、N、O、Ti共存层,往里过渡到钛基体.首次进行了Ti6Al4V PBII法注入氮再辉光放电沉积碳.首次对Ti6Al4V进行了PBII法注入碳再辉光放电沉积碳的双重处理.
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