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该文主要对磁控油射法制GaP膜的工艺、性能和结构进行了研究.
磁控溅射GaP薄膜的制备工艺与性能研究
【摘 要】
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该文主要对磁控油射法制GaP膜的工艺、性能和结构进行了研究.
【机 构】
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西北工业大学
【出 处】
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西北工业大学
【发表日期】
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2000年期
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