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磁控溅射GaP薄膜的制备工艺与性能研究
磁控溅射GaP薄膜的制备工艺与性能研究
来源 :西北工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lxfsb001
【摘 要】
:
该文主要对磁控油射法制GaP膜的工艺、性能和结构进行了研究.
【作 者】
:
郭大刚
【机 构】
:
西北工业大学
【出 处】
:
西北工业大学
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
磷化镓
红外增透保护膜
膜系设计
硫化锌
射频磁控溅射
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该文主要对磁控油射法制GaP膜的工艺、性能和结构进行了研究.
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