三维测量是测量中的一个热点，其应用价值及科学意义不可估量，它被广泛用于工业、交通、医学、军事、科研等许多领域。 由于三角测量法原理简单、计算方便、所需仪器少、成本低、且可靠性好，在无接触测量距离及面形中有相当重要的实用价值，因此，三角测量法虽然历史悠久，但一直沿用至今。随着新型光电扫描技术与新型阵列型光电探测器件的出现，结合迅猛发展的自动控制技术与高速数据处理技术，三角测量这种传统的方法有了很多新的进展及应用。 位置敏感探测器（position sensible detector）具有体积小，灵敏度高，线性范围大，噪声低，分辨力高，光谱响应范围大，响应速度快，价格及应用电路简单等优点。所以，本文以三角测量法为基础，利用PSD作为探测器，实现对目标的三维位置测量。 本文简述了位置敏感探测器PSD原理和结构，对以PSD为探测器的测量系统的三维测量原理进行了推导，计算了系统参数对测量范围的影响。在此基础上，设计、加工了实验系统的光路、电路，完成了数据采集系统及编程，进行了原理性实验，得到了预期的实验结果。在实验的基础上，我们进一步分析了不同参数对测量误差的影响。实验证明该方法有可能成为一种高速三维测量系统，为系统实际应用打下了良好的基础。 此课题是对激光测量方面作了一些探索，希望它对改进此测量方法以及引发新的方法有意义。 本文由三维测量的国内外发展壮况及其重要意义、PSD结构和原理、测量系统原理及方法、信号处理、实验及精度分析六部分组成。