通过刀片撞击粉碎、球磨粉碎、磨碎三种机制对Al颗粒、聚酰亚胺颗粒、光学玻璃进行超微粉碎,讨论了粉碎机制、粉碎时间、粉碎环境对粉碎效果的影响。并将不同粒度的粉体用作脉冲激光烧蚀的工质,测得各粒度粉体的冲量耦合系数,分别用不同能量、不同频率的激光对三种材料44μm以下的超细粉体进行激光烧蚀,并测试其冲量耦合系数,讨论了粉体粒度、激光能量和激光频率对冲量耦合系数的影响。主要得到以下结论:(1)在相同的粉碎条件下,刀片撞击粉碎Al颗粒、聚酰亚胺颗粒、光学玻璃所得到的粉体粒径更小、更均匀,并且粉体颗粒更趋近于球形,确定为刀片撞击粉碎作为获得碎片的主要机制;(2)刀片撞击粉碎机制下,一个小时之内,随着粉碎时间的延长,Al粉、聚酰亚胺粉、光学玻璃粉的粒径都逐渐减小,最小可达到44μm以下;(3)在真空环境下进行粉碎,Al颗粒、聚酰亚胺颗粒、光学玻璃的粉体粒径与大气环境下的粉体粒径变化不大,真空环境对粉碎效果几乎没有影响;(4)在粉碎过程中加入液氮后,Al颗粒、聚酰亚胺颗粒、光学玻璃的粉体粒径均有增大的趋势,液氮的加入不利于粉碎过程中粉体粒径的减小;(5)三种粉体不同粒度的激光烧蚀实验表明:Al粉、聚酰亚胺粉的冲量耦合系数随着粉体粒径的增大呈上升趋势,聚酰亚胺粉的冲量耦合系数上升较快,最高为44μm以下可达到29.4 dyne/J,Al粉的冲量耦合系数最小,光学玻璃粉的冲量耦合系数对粉体粒径的变化不敏感;(6)三种粉体不同激光能量的激光烧蚀试验表明:Al粉、聚酰亚胺粉、光学玻璃粉的冲量耦合系数随着激光能量的增大呈上升趋势,Al粉的冲量耦合系数上升较慢,聚酰亚胺粉的冲量耦合系数上升较快,并且在激光器电压为600 V时达到最大,为44.0 dyne/J,之后呈下降趋势。7)三种粉体不同激光频率的激光烧蚀试验表明:Al粉、聚酰亚胺粉、光学玻璃粉的冲量耦合系数随着激光能量的增大呈上升趋势,Al粉的冲量耦合系数上升较慢,聚酰亚胺粉的冲量耦合系数上升较快,并且在激光频率为8 Hz时达到最大,为29.4dyne/J,之后冲量耦合系数随激光频率的增大变化不明显。