含AlN纳米多层膜的生长结构和超硬机制研究

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【摘要】

：

以TiN为代表的硬质陶瓷薄膜作为刀具涂层取得了巨大的成功,有力地推动了制造业的发展。高速、干式切削等加工技术的进步对刀具涂层提出了更高的要求。纳米多层膜的高硬度以及能够通过材料组合获得其它优异性能的可裁剪性,使其成为一类具有广泛应用潜力的涂层材料。而其通过微结构的设计获得高硬度的强化机制更具理论研究价值。已有的研究表明,在很多多层膜中,一种调制层在一定条件下会使另一调制层发生相转变,如TiN/Si

【作者】

：

黄碧龙

【机构】

：

上海交通大学

【发表日期】

：

2008年01期

【关键词】

：

磁控溅射 TiN/AlON纳米多层膜 AlN/TiB2纳米多层膜硬质薄膜非晶晶化超硬效应内应力

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