光学干涉检验作为光学系统和光学面形的评价基准,具有纳米级的高测量精度。为对更大口径的光学系统和光学元件进行质量评估,需要研发更大口径的干涉仪。干涉仪需要完成准直光出射和干涉场成像接收,其光束准直性直接关系检测结果。干涉仪的干涉光程越长,出射光的准直误差会传递并累加到测量结果中越严重;干涉仪口径越大,对其出射光进行准直性检测的手段受到的限制越大。本文提出基于角锥棱镜扫描测试法的大口径干涉仪出射波前的准直测试方案。该方案利用小口径角锥棱镜将干涉仪出射波前分割为若干子波前,并把干涉仪配备的高精度标准透射平晶作为基准。通过标准平晶反射光与角锥棱镜反射光干涉获得子波前分布并提取中心斜率,移动角锥扫描整个出射波前孔径得到一系列子波前斜率,最终由斜率重建出射波前。方法充分利用了干涉仪本身的硬件设施实现出射波前的二维面形恢复,精度高、附加成本低,不受干涉仪口径限制。采用角锥棱镜扫描法对分别ZYGO干涉仪的Φ100mm和Φ150mm口径出射波前、Φ300mm激光相移干涉仪和Φ600mm相移斐索干涉仪的出射波前进行检测,完成二维波前重构。后续根据测量计算结果,迭代调整了Φ600mm相移斐索干涉仪的扩束光路,将其校准到PV0.1623λ,RMS0.0287λ。此外,对测量过程中的各类误差进行讨论,定量分析角锥棱镜的制造误差,定性分析标准平晶的蠕动,并对算法作出改进。